Системы для анализа микроэлектроники и полупроводниковых материалов

THMS600 компании Linkam, один из наиболее широко используемых столиков нагрева и замораживания, был модифицирован в сотрудничестве с ведущими мировыми производителями эллипсометров для производства столиков с оптимальным оптическим доступом, THMSEL600 и THMSEL350V.

Разработка протоколов сушки вымораживанием является трудоемким и дорогостоящим процессом, который может быть расточительным. Система Linkam FDCS196 позволяет быстро и точно характеризовать протоколы сушки вымораживанием путем точного контроля температуры образца и давления вакуума.

Серия Linkam FTIR600 была адаптирована с нашего ведущего высокоточного столика THMS600 для инфракрасного анализа образцов от <-195°C до 600°C, охватывающего широкий спектр применений от фармацевтических соединений до полимеров с использованием большинства настольных ИК микроскопических систем.

Столики FTIR600 были разработаны для использования в приложениях, где требуются быстрые скорости нагрева/охлаждения и высокий уровень точности и стабильности, и поставляются в трех стандартных версиях:

• FTIR600 для горизонтального монтажа на ИК-микроскопах.
• FTIRSP600 для вертикальной установки в горизонтальных ИК-спектрометрах, включая вертикальный держатель образца и съемную опорную плиту для установки отдельно или для крепления к кронштейну в камере спектрометра.
• FTIR600MSO для установки на моторизованный стол с углублением 160 x 110 мм.

Все типы столиков FTIR600 в стандартной комплектации снабжены кварцевыми окнами, что позволяет пользователю адаптировать столики для оптимальной ИК-передачи. Опционально доступны: (ZnSe), (BaF2), (KBr), (CaF2 ) и (Al2O3) окна.

Система состоит из варианта FTIR600 и регулятора температуры T96-S, который доступен либо с программным обеспечением LINK для управления компьютером, либо с сенсорным экраном LinkPad для автономного управления. Для охлаждения ниже температуры окружающей среды также доступен дополнительный насос жидкого азота LNP96-S. 

Особенности

ШИРОКИЙ ТЕМПЕРАТУРНЫЙ ДИАПАЗОН
Диапазон температур колеблется от <-195°C (с добавлением дополнительного LNP96-S) до 600°C для универсального диапазона экспериментов. Контроллер T96-S позволяет каждому столику нагревать образцы с максимальной скоростью 150°C/мин. Водяное охлаждение для работы выше 300°С.

ВЫСОКАЯ СТЕПЕНЬ ТОЧНОСТИ И СТАБИЛЬНОСТИ
Встроенный высококачественный платиновый датчик Pt100 гарантирует точность и стабильность во всем диапазоне температур.

УНИВЕРСАЛЬНЫЙ
Может быть с окнами, подходящими для ИК или Рамановской спектроскопии.

БЫСТРЫЙ ВЫПУСК ГАЗОВЫХ ПОРТОВ
Простая и легкая стадия продувки, позволяющая контролировать состав атмосферы.

XY МАНИПУЛЯТОРЫ
С помощью прецизионных наземных манипуляторов можно контролировать положение образца на 15 мм хода в направлениях X и Y. 

Область применения 

ИК-Фурье-спектроскопия является популярной техникой благодаря точному спектральному анализу, что дает возможность контроля температуры на месте и контроля окружающей среды. Серия Linkam FTIR600 может найти широкое применение в различных областях: 

Пластмассы и полимеры
Серия FTIR600 может использоваться для термического анализа молекулярной структуры полимерных композитов, биоматериалов, нановолокон и многих других материалов.

Фармацевтические препараты
ИК-Фурье-спектроскопия является одним из самых популярных инструментов, используемых при анализе фармацевтических материалов, и может неинвазивно предоставлять информацию о термической и in vivo стабильности и структуре многих химических и биологических соединений. 

Полупроводники и электрика
Высокотемпературные и атмосферные химические характеристики с помощью FT-IR обычно используются для анализа полупроводниковых материалов. ИК-спектроскопия широко используется во многих областях исследований, от электрических устройств до накопителей энергии и материалов возобновляемой энергии.

Техническая спецификация

Температурный Диапазон <-195°C (с добавлением дополнительного LNP96-S) до 600°C
Скорость Нагрева / Охлаждения До 150°C/мин
Стабильность Температуры < 0.01°C
XY Манипуляции 15мм
Площадь Образца Диаметр 22мм
Рабочее Расстояние 4.8мм
Угол допуска Конденсатор 74° Объектив 115°
Совместимость ИК и рамановская спектроскопия. Варианты крепления доступны для большинства микроскопов.

Узнать больше...

Параметры Управления
Возьмите под контроль свой эксперимент с программным обеспечением LINK или автономным сенсорным экраном LinkPad вместе с регулятором температуры T96.

Как программное обеспечение LINK, так и LinkPad имеют единый пользовательский интерфейс, который может контролировать и контролировать температуру и многие другие параметры, включая вакуум, влажность, растягивающее усилие и усилие сдвига (в зависимости от системы). LinkPad предоставляет простой в использовании интерфейс к T96 для полного контроля без ПК. Можно запрограммировать профили до 100 рамп, что позволяет моделировать сложные процессы.

Программное обеспечение LINK усиливает это благодаря функциям регистрации данных и графической обратной связи в реальном времени. Дополнительные модули для улучшения вашей системы включают в себя модуль формирования изображений LINK для синхронного захвата изображений, модуль расширенных измерений LINK для измерения ключевых характеристик изображений, модуль LINK 21CFR11 для соответствия нормативным требованиям к данным и LINK TASC, обеспечивающий термический анализ на основе изображений.

Станция Визуализации
Imaging Station предоставляет платформу для цифровой обработки изображений, совместимую с системами контроля температуры и окружающей среды Linkam. 
Используйте нашу камеру с высоким разрешением для захвата изображений и видео ваших образцов при контроле температуры и условий окружающей среды.

Станция визуализации была специально разработана с поворотным механизмом, чтобы обеспечить больший доступ к вашему столику Linkam, что позволяет быстро и легко получить доступ к камере и менять образцы. Он имеет встроенный светодиодный источник света для проходящего света с дополнительными опциями для отраженного света, поляризации и фазово-контрастного изображения.

Imaging Station также совместима с целым рядом объективов с большим рабочим расстоянием, которые можно легко переключать с помощью механизма быстрого 
расцепления.

HFS600 используется в ряде областей применения, где требуются высокие скорости нагрева/охлаждения и высокий уровень точности и стабильности. Это компактный столик, который может использоваться с микроскопами как горизонтально, так и вертикально в спектрометрических системах или на линиях синхротронного пучка. Он может быть оснащен различными оконными материалами для комбинационного, инфракрасного, ультрафиолетового и рентгеновского исследования.

Образцы быстро характеризуются нагреванием в пределах нескольких градусов от необходимой температуры со скоростью до 150°C/мин, а затем замедляются до нескольких десятых градуса в минуту, чтобы внимательно изучить изменения образца.

Программное обеспечение LINK можно использовать для записи всего эксперимента и связанных изображений, которые затем можно отобразить в виде диаграммы или экспортировать для дальнейшего анализа.

Для системы требуется как столик HFS600, так и регулятор температуры T96-S, который доступен либо с программным обеспечением LINK для управления компьютером, либо с сенсорным экраном LinkPad для автономного управления. Для охлаждения ниже температуры окружающей среды также доступен дополнительный насос для жидкого азота LNP96-S.

Особенности 

ШИРОКИЙ ТЕМПЕРАТУРНЫЙ ДИАПАЗОН
Диапазон температур колеблется от <-195°C (с добавлением дополнительного LNP96-S) до 600°C для универсального диапазона экспериментов. Корпус столика охлаждается водой для работы при температуре выше 300°C.

БЫСТРАЯ СКОРОСТЬ НАГРЕВА
Контроллер T96-S позволяет столу нагревать образцы с максимальной скоростью 150°C/мин.

ВЫСОКАЯ СТЕПЕНЬ ТОЧНОСТИ И СТАБИЛЬНОСТИ
Встроенный высококачественный платиновый датчик Pt100 гарантирует высокую точность и стабильность во всем диапазоне температур.

РАЗЛИЧНЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ
HFS600 справится с этой задачей, будь то рамановская спектроскопия, рентгеновская микроскопия или конфокальная микроскопия.

БЫСТРЫЙ ВЫПУСК ГАЗОВЫХ ПОРТОВ
Простая и легкая стадия продувки, позволяющая контролировать состав атмосферы.

ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СОЕДИНЕНИЯ И ЗОНДЫ
Дополнительные электрические соединения и датчики позволяют проводить электрические измерения на образце. 

Область применения 

Геология
Эксперименты по термальному контролю и контролю окружающей среды используются в геологических исследованиях, таких как исследования растворенных газов или содержания минералов в геологических жидкостях. HFS600 добавляет атмосферный контроль в сочетании со многими методами микроскопии и спектроскопии.

Полупроводники и электрика
Контроль температуры и химическая характеристика атмосферы с помощью микроскопии и спектроскопии обычно используются для анализа полупроводниковых материалов. HFS600 может использоваться во многих областях исследований, от светодиодов и фотоэлектрических устройств до накопителей энергии и возобновляемых источников энергии.

Пластмассы и полимеры
Тепловые и экологические эксперименты с использованием HFS600 в сочетании с микроскопическим или спектроскопическим анализом используются в широком диапазоне мягких материалов, от мягких полимеров и гидрогелей до термопластов и полимерных нанокомпозитов. 

Техническая спецификация

Температурный Диапазон <-195°C (с добавлением дополнительного LNP96-S) до 600°C
Скорость Нагрева / Охлаждения От 0.01°C до 150°C/мин
Стабильность Температуры < 0.1°C 
Площадь Образца Диаметр 22мм
Рабочее расстояние 4.8мм
Совместимость
Микроскопы отраженного и проходящего света, конфокальные, лазерные рамановские и рентгеновские лучи. Варианты крепления доступны 
для большинства микроскопов.

Узнать больше...

Параметры управления
Возьмите под контроль свой эксперимент с программным обеспечением LINK или автономным сенсорным экраном LinkPad вместе с регулятором температуры T96.

Как программное обеспечение LINK, так и LinkPad имеют единый пользовательский интерфейс, который может контролировать и контролировать температуру и многие другие параметры, включая вакуум, влажность, растягивающее усилие и усилие сдвига (в зависимости от системы). LinkPad предоставляет простой в использовании интерфейс к T96 для полного контроля без ПК. Можно запрограммировать профили до 100 рамп, что позволяет моделировать сложные процессы.

Программное обеспечение LINK усиливает это благодаря функциям регистрации данных и графической обратной связи в реальном времени. Дополнительные модули для улучшения вашей системы включают в себя модуль формирования изображений LINK для синхронного захвата изображений, модуль расширенных измерений LINK для измерения ключевых характеристик изображений, модуль LINK 21CFR11 для соответствия нормативным требованиям к данным и LINK TASC, обеспечивающий термический анализ на основе изображений.

Станция Визуализации
Imaging Station предоставляет платформу для цифровой обработки изображений, совместимую с системами контроля температуры и окружающей среды Linkam. 
Используйте нашу камеру с высоким разрешением для захвата изображений и видео ваших образцов при контроле температуры и условий окружающей среды.

Станция визуализации была специально разработана с поворотным механизмом, чтобы обеспечить больший доступ к вашему столику Linkam, что позволяет быстро и легко получить доступ к камере и менять образцы. Он имеет встроенный светодиодный источник света для проходящего света с дополнительными опциями для отраженного света, поляризации и фазово-контрастного изображения.

Imaging Station также совместима с целым рядом объективов с большим рабочим расстоянием, которые можно легко переключать с помощью механизма быстрого 
расцепления.

Основанные на технологии контроля температуры столиков THMS в Linkam, CFS и GI HFSX350 были модифицированы для использования в различных рентгеновских приложениях (включая XRD Grazing Incidence) и используются в синхротронных установках по всему миру.

Для общего применения при нагреве и замораживании в рентгеновском спектрометре серия HFSX350 отличается малыми требованиями к пространству, высокой температурной стабильностью и идеально подходит для горизонтального или вертикального монтажа. Доступны два стандартных типа столика:

• HFSX350-CAP подходит для использования с капиллярной трубкой 1,7 мм, проходящей через нагревательный блок для жидких образцов.
• HFSX350-GI с скрытым нагревательным блоком и поверхностным капилляром, поставляемым с пробоотборными окнами из слюды и каптона.

Для системы требуется один из типов столиков HFSX350 и регулятор температуры T96-S, который доступен либо с программным обеспечением LINK для управления компьютером, либо с сенсорным экраном LinkPad для автономного управления. Для охлаждения ниже температуры окружающей среды также доступен дополнительный насос жидкого азота LNP96-S.

Особенности

ВАКУУМНЫЙ БЛОК УПРАВЛЕНИЯ
Для использования до 10-3 мбар при максимальной температуре 350 ° C. Может также поставляться для не вакуумного использования со стандартным нагревательным блоком THMS600, чтобы дать максимальную температуру 600 ° C.

ШИРОКИЙ ТЕМПЕРАТУРНЫЙ ДИАПАЗОН
Диапазон температур варьируется от <-195°C (с добавлением дополнительного LNP96-S) до 350°C.

СКОРОСТЬ НАГРЕВА
Контроллер T96-S позволяет столу нагревать образцы с максимальной скоростью 30°C /мин.

ВЫСОКАЯ СТЕПЕНЬ ТОЧНОСТИ И СТАБИЛЬНОСТИ
Встроенный высококачественный платиновый датчик Pt100 гарантирует точность и стабильность во всем диапазоне температур.

ПРУЖИННЫЙ ЗАЖИМ ВЕРТИКАЛЬНОГО ОБРАЗЦА
Для использования с твердыми образцами.

С ВОДЯНЫМ ОХЛАЖДЕНИЕМ
Водоохлаждаемый корпус столика для работы выше 300 ° C

Область применения

Серия HFSX350 объединяет наши термические и капиллярные устройства для анализа на разных стадиях рентгеноструктурного анализа и подходит для характеристики широкого спектра материалов для исследовательских применений, включая:

Пластмассы и полимеры
Столики HFSX350 идеально подходят для использования с материалами и полимерами. Выполните измерения характеристик рентгеновских лучей при точном контроле температуры и атмосферных условий.

Полупроводники и электрика
Столики HFSX350 совместимы с методами лучевой линии, такими как SAXS/WAXS и другими экспериментами XRD, со специальной версией для GISAXS/WAX. Измерьте тепловую эволюцию одновременно с молекулярной структурой и кристаллографическими измерениями.

Естественные науки
Столики HFSX350 можно использовать для совмещения температурного контроля с молекулярным анализом биологических и медицинских образцов, от анализа биоматериалов и композитов до морфологии клеток, остекловывания водяным льдом и сохранения клеток.

Техническая спецификация 

Температурный Диапазон <-195°C (с добавлением дополнительного LNP96-S) до 350°C
Скорость Нагрева От 0.01°C до 30°C /мин
Пружинный Зажим для Вертикальных 
Образцов Для использования с твердыми образцами
Стабильность Температуры < 0.1°C
Вакуумный Нагревательный Блок
Для использования до 10-3 мбар при максимальной температуре 350°C.
Может также поставляться со стандартным нагревательным блоком 
THMS600 для работы без вакуума с максимальной температурой 600°C.

Узнать больше...

Параметры Управления
Возьмите под контроль свой эксперимент с программным обеспечением LINK или автономным сенсорным экраном LinkPad вместе с регулятором температуры T96.

Как программное обеспечение LINK, так и LinkPad имеют единый пользовательский интерфейс, который может контролировать и контролировать температуру и многие другие параметры, включая вакуум, влажность, растягивающее усилие и усилие сдвига (в зависимости от системы). LinkPad предоставляет простой в использовании интерфейс к T96 для полного контроля без ПК. Можно запрограммировать профили до 100 рамп, что позволяет моделировать сложные процессы.

Программное обеспечение LINK усиливает это благодаря функциям регистрации данных и графической обратной связи в реальном времени. Дополнительные модули для улучшения вашей системы включают в себя модуль формирования изображений LINK для синхронного захвата изображений, модуль расширенных измерений LINK для измерения ключевых характеристик изображений, модуль LINK 21CFR11 для соответствия нормативным требованиям к данным и LINK TASC, обеспечивающий термический анализ на основе изображений.

DSC600 и DSCX600 
Linkam DSC600 и DSCX600 - это новые одноячеечные системы DSC / DTA, которые оптимизированы для одновременной визуализации и измерения теплового потока. Их уникальный дизайн позволяет использовать эту ячейку в различных системах, включая оптические микроскопы, ИК и Романовские спектрометры.

DSC600 позволяет пользователю измерять и отображать тепловые фазовые переходы (такие как точки плавления и стеклования) широкого спектра веществ, в то же время точно контролируя температуру от < –195°C до 600°C.

DSCX600 был специально оптимизирован для использования с рентгеновскими системами, включая WAX / SAX и синхротронные системы. Одиночная печь с низкой массой обеспечивает высокую скорость нагрева и охлаждения (до 130°C/мин) и быстрое время отклика, что позволяет повторить производственные процессы.