В течение многих лет Linkam создает решения для определения характеристик образцов для микроэлектроники и полупроводниковых областей. Наши столики обеспечивают точный контроль температуры в диапазоне от <-195°C до 1500°C. Кроме того, можно контролировать окружающую среду, предлагая варианты продувки газом, контролируемого вакуума или влажности.
Для проведения электрических и зондовых измерений эти столики оснащены вольфрамовыми иглами с золотым наконечником или пружинными зажимами, которые могут быть подключены к различным выходным разъемам. Столики Linkam совместимы со световой микроскопией и спектроскопией, включая рамановское и рентгеновское излучение. Электрические и зондовые версии доступны для многих наших типов столиков, в том числе:
- HFS E серия предлагает температурный диапазон от <-195°C (с добавлением дополнительного LNP96-S) до 600 °C, с опциями, включая зонды и электрические соединения, а также вакуум, продувку газом и контроль влажности.
- THMS E серия предлагает манипулирование образцом с использованием прецизионных наземных манипуляторов, диапазон температур от <-195 ° C (с добавлением дополнительного LNP96-S) до 600°C, с опциями, включая электрические соединения, а также вакуум, продувку газом и контроль влажности.
- LTS420 E серия идеально подходит для тех, кому требуется большая площадь образца, диапазон температур от <-195°C (с добавлением дополнительного LNP96-S) до 420°C, с опциями, включающими влажность, зонды и электрические соединения.
- LTS120 E серия предлагает большую площадь образца и диапазон температур от - 40°C до 120°C без необходимости в жидком азоте, с опциями, включая зонды и электрические соединения
- TS E серия идеально подходит для тех, кто изучает электронику большой мощности, которая требует экстремальных температур. Они предлагают температурный диапазон от температуры окружающей среды до 1500°C, с опциями, включая зонды и электрические соединения, а также вакуум.
Особенности
ШИРОКИЙ ТЕМПЕРАТУРНЫЙ ДИАПАЗОН
Доступны ступени, охватывающие диапазон температур от <-195°C до 1500°C.
СТАБИЛЬНЫЙ И ТОЧНЫЙ КОНТРОЛЬ ТЕМПЕРАТУРЫ
Контроллер T96-S и датчик температуры на платиновом резисторе обеспечивают точное и повторяемое управление с точностью выше 0,1°C.
ЗОНДЫ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СОЕДИНЕНИЯ
Столики могут поставляться с широким спектром электрических соединений и зондов в зависимости от ваших индивидуальных требований.
КОНТРОЛЬ ВЛАЖНОСТИ
Варианты серий HFS, THMS и LTS совместимы с генератором влажности RH95.
ВАКУУМНЫЙ И АТМОСФЕРНЫЙ КОНТРОЛЬ
Варианты столиков серии TS, HFS и THMS также доступны с вакуумной совместимостью и оснащены быстродействующими газовыми портами для контроля окружающей среды.
Область применения и отзывы
|
Dr Luca Camilli, Technical University of Denmark - Micro and Nano Technology |
Профессор Sharath Sriram, RMIT - Functional Materials and Microsystems |
Профессор Chunxiao Cong, Fudan Uni - Information Science and Technology |
| Изготовленная на заказ система LTS600 | LTS420E-PB4, HFS600E-PB4 с RH95 | HFS600E-PB4 |
| “В нашем эксперименте использовался нестандартный столик Linkam LTS600 в сочетании с рамановским микроскопом. Образец нагревается до желаемой температуры на столике Linkam LTS600, и рамановский сигнал от него собирается через окно. Это позволило нам изучить процесс окисления исследуемого образца с помощью спектроскопии комбинационного рассеяния ». |
“Столики Linkam с электрическими зондами являются неотъемлемой частью нашей исследовательской деятельности. Наша уверенность в этих столиках подчеркивается тем, что мы приобрели шесть из них за последние несколько лет. Встроенные электрические датчики в сочетании с портами нагрева, охлаждения и оптического порта позволили нам изучить ряд сенсорных технологий, охватывающих оптику, газ и кондуктометрические устройства. Эти столики дают возможность понять важнейшие фундаментальные материалы для изучения фазовых превращений in situ » |
“Столик Linkam был необходим для температурно-зависимых спектроскопических комбинационных измерений. Столик HFS600E-PB4 был совместим с конфокальной низкочастотной микрорамановской системой, которая помогла реализовать рамановское исследование in situ для выявления вибрационной симметрии, ангармонизма и электрон-фононного взаимодействия сдвиговых мод в зависимости от температуры в ультранизкочастотном диапазоне графеновых слоев » |
| M. Galbiati et al. “Real-time oxide evolution of copper protected by graphene and boron nitride barriers” (2017) Sci. Rep | S. Sriram et al. “Influence of Electric Field on SERS: Frequency Effects, Intensity Changes, and Susceptible Bonds” (2012) J. Am. Chem. Soc. 134:10, DOI: 10.1021/ja208893q | C. Cong & Y. Ting “Enhanced ultra-low-frequency interlayer shear modes in folded graphene layers” (2014) Nat Commun. 5:4709, DOI: 10.1038/ncomms5709 |
| Evolution of Raman spectra with temperature from 25– 400°C for graphene/boron/copper semiconducting materials, showing copper oxidation. (From Galbiati et al. used under CC BY 4.0) . | Photograph of the Linkam HFS600E-PB4 probe system in the lab at RMIT, where it is used to apply an oscillating electric field during Surface Enhanced Raman Scattering. | Visualisation of the atomic structure of graphene layers. This research studies the interlayer shear modes of graphene layers using temperature-dependent Raman spectroscopy. |
Техническая спецификация
| HFS E | THMS E | LTS120 E | LTS420 E | TS E | |
| Температурный диапазон | HFS350EV < -195°C* до 350°C HFS600E < -195°C* до 600°C |
THMS350EV < -195°C* до 350°C THMS600E < -195°C* до 600°C |
-40°C† до 120°C | < -195°C* до 420°C | От окр. среды до 1500°C |
| Скорость нагрева/охл. | 0.01°C до 150°C/мин | 0.01°C до 150°C/мин | 0.01°C до 30°C/мин | 0.01°C до 50°C/мин | 0.1°C до 200°C/мин |
| Стабильность температуры | < 0.01°C | < 0.01°C | < 0.1°C | < 0.1°C | < 1°C |
| Площадь образца | 22мм ø | 22мм ø | 40 x 40мм | 53.5 x 43мм | TS1500 7 ø x 3мм TS1500 7 ø x 6мм TS1200 10 ø x 5мм TS1000 17 ø x 3мм |
| Рабочее расстояние | 4.8мм | 5.8мм | 5.8мм | 6.5мм | Зависит от столика |
| Совместимость с вакуумом | HFS350E Да (1e-3 мБар) HFS600E Нет |
THMS350E Да (1e-3 мБар) THMS600E Нет |
Нет | Нет | Нет |
| Столики с разъемом LEMO |
HFS600E (1 x 2 Pin) | THMS350EV-4 (1 x 4 Pin) THMS600E (1 X 2 Pin) |
LTS120E (1 x 2 Pin) LTS120E-PL8 (2 x 4 Pin) |
LTS420E-PL8 ( 2 x 4 Pin) |
TS1500E-7/3 (1 x 4 Pin) TS1500E-7/6 (1 x 4 Pin) TS1200E-10/5 (1 x 4 Pin) TS1000E-17/3 (1 x 4 Pin) |
| Столики с разъемом BNC |
HFS350EV-PB4 (4 BNC) HFS600E-PB4 (4 BNC) |
Доступны кастомные варианты | Доступны кастомные варианты | LTS420E-PB4 (4 BNC) |
TS1000E-PB4 (4 BNC) |
* Для серий HFS E, LTS420 E и THMS E насос LNP96-S с жидким азотом необходим для охлаждения ниже температуры окружающей среды.
† Для серии LTS120 требуется циркуляционный насос для воды, циркуляционный насос для охлажденной воды для температур ниже -20 ° C.
Узнать больше...
Параметры управления
Возьмите под контроль свой эксперимент с программным обеспечением LINK или автономным сенсорным экраном LinkPad вместе с регулятором температуры T96.
Как программное обеспечение LINK, так и LinkPad имеют единый пользовательский интерфейс, который может контролировать и контролировать температуру и многие другие параметры, включая вакуум, влажность, растягивающее усилие и усилие сдвига (в зависимости от системы). LinkPad предоставляет простой в использовании интерфейс к T96 для полного контроля без ПК. Можно запрограммировать профили до 100 рамп, что позволяет моделировать сложные процессы.
Программное обеспечение LINK усиливает это благодаря функциям регистрации данных и графической обратной связи в реальном времени. Дополнительные модули для улучшения вашей системы включают в себя модуль формирования изображений LINK для синхронного захвата изображений, модуль расширенных измерений LINK для измерения ключевых характеристик изображений, модуль LINK 21CFR11 для соответствия нормативным требованиям к данным и LINK TASC, обеспечивающий термический анализ на основе изображений.
Станция визуализации
Imaging Station предоставляет платформу для цифровой обработки изображений, совместимую с системами контроля температуры и окружающей среды Linkam.
Используйте нашу камеру с высоким разрешением для захвата изображений и видео ваших образцов при контроле температуры и условий окружающей среды.
Станция визуализации была специально разработана с поворотным механизмом, чтобы обеспечить больший доступ к вашему столику Linkam, что позволяет быстро и легко получить доступ к камере и менять образцы. Он имеет встроенный светодиодный источник света для проходящего света с дополнительными опциями для отраженного света, поляризации и фазово-контрастного изображения.
Imaging Station также совместима с целым рядом объективов с большим рабочим расстоянием, которые можно легко переключать с помощью механизма быстрого
расцепления.